Anwendungsorientierte Plasmaphysik

Abscheidung dünner DLC-Schichten mittels Niedertemperaturplasmen: Plasmaabgeschiedene diamantartige Kohlenstoffschichten (DLC-Schichten) haben eine große technische Bedeutung als harte, reibungsarme und daher verschleißhemmende Schutzschichten erlangt. Der Versuch soll eine Einführung geben in die Abscheidung dünner diamantähnlicher Schichten mittels Niedertemperaturplasmen. Der Versuch gliedert sich in zwei Teile. Im Ersten Teil erfolgt eine kurze Einführung in die wesentlichen Aspekte eines Niedertemperaturplasmas. Hierzu soll die Elektronentemperatur aus Linien-intensitätsverhältnissen spektroskopisch bestimmt werden. Im zweiten Versuchsteil sollen dann mittels einer HF-Entladung dünne DLC-Schichten auf einem SI-Wafer abgeschieden werden. Die Charakterisierung der hergestellten Schichten hinsichtlich Schichtdicke und Brechungsindex erfolgt mit Hilfe eines sogenannten Ellipsometers.