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| − | Reaktive Plasmen sind ein wichtiges Werkzeug für viele moderne
| + | '''405 Massenspektrometrie von reaktiven Plasmen''' |
| − | Anwendungen etwa aus der Automobil- oder Halbleiterindustrie.
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| − | Plasma erzeugte Beschichtungen verleihen Werkstücken neuartige
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| − | Eigenschaften wie besondere Härte oder verhindern die Permeation
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| − | von Gasen oder Flüssigkeiten durch Kunststoffe. Plasma-Ätzen macht
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| − | es möglich Nanometer große Strukturen in Silizium zu ätzen.
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| − | Zentrale Fragestellung bei der Untersuchung von reaktiven Plasmen
| + | In this experiment an ICP source (Inductively Coupled |
| − | ist die Suche nach den dominanten Spezies, die zu einer
| + | Plasma) will be used to generate a plasma discharge. The |
| − | Beschichtung oder zum Ätzen führen. In einem Plasma wird ein
| + | discharge will be analysed by optical and mass spectrometry, |
| − | Ausgangsgas dissoziiert und ionisiert und die entstehenden
| + | with the focus on the mass spectrometry. The fundamentals |
| − | Teilchen treten mit der Oberfläche in Wechselwirkung. Dabei können
| + | and working principle of the mass spectrometer and its use to |
| − | eine Vielzahl von Spezies gleichzeitig zu der Materialsynthese
| + | analyse different particles of a plasma will be learned. |
| − | oder zur Erosion beitragen. Die Isolation einzelner Mechanismen
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| − | vor dem Hintergrund einer sehr komplexen Plasmachemie ist
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| − | allerdings nicht ohne weiteres möglich.
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| − | Die Massenspektrometrie ist hierbei eine sehr geeignete
| + | [[http://f-praktikum.ep1.rub.de/anleitung/Vers405_en.pdf]Student manual] |
| − | Diagnostik, da sie sensitiv für eine Vielzahl von
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| − | unterschiedlichen Spezies ist. Dies soll in dem vorliegenden
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| − | Praktikumsversuch thematisiert werden.
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| − | Als Beispiel wird eine induktive Methanentladung gewählt. Nach dem
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| − | Erlernen des Umgangs mit dem Massenspektrometer und der Analyse der
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| − | Signale von einigen neutralen Quellgasen, soll die Zusammensetzung
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| − | eines Plasmas in Abhängigkeit von den Prozessparametern untersucht
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| − | werden. Hierbei soll zusätzlich die sogenannte
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| − | Schwellenspektroskopie durchgeführt werden, bei der selektiv
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| − | Radikale in einem Plasma nachgewiesen werden können.
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| − | == Versuchsbeschreibung ==
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| − | * [[Einleitung]]
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| − | * [[Grundlagen]]
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| − | * [[Bedienung des Experiments]]
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| − | * [[Aufgaben]]
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| − | [[Datei:405_Anleitung.pdf| Versuchsanleitung als PDF-Dokument]]
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Aktuelle Version vom 3. Mai 2021, 15:45 Uhr
405 Massenspektrometrie von reaktiven Plasmen
In this experiment an ICP source (Inductively Coupled
Plasma) will be used to generate a plasma discharge. The
discharge will be analysed by optical and mass spectrometry,
with the focus on the mass spectrometry. The fundamentals
and working principle of the mass spectrometer and its use to
analyse different particles of a plasma will be learned.
[[1]Student manual]
