Aufgaben

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\chapter{Aufgaben}


\begin{itemize}

\item{\bf Modensprung in einer Argon Entladung}

Leistungsscan einer Argon-Entladung und Beobachtung der Hysterese


\item{\bf Bestimmung der Fragmentierungsmuster}

Kalibrieren des QMS mit einigen Gasen in der Kammer


\item{\bf Gasmischungen}

Bestimmen der Zusammensetzung einer unbekannten Gasmischung aus Kohlenwasserstoffen



\item{\bf Messung der Plasmazusammensetzung in Abhängigkeit von der Plasmaleistung}

Messung des Massenspektrums einer Methanentladung und einer Argon/Sauerstoff-Entladung.


\item{\bf Ionisations-Schwellen-Spektroskopie}

Schwellenspektroskopie von CH$_3$ in einer Methanentladung (Nachweis von Radikalen).

\end{itemize}