Aufgaben: Unterschied zwischen den Versionen

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\chapter{Aufgaben}
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'''Einführung in den experimentellen Aufbau'''
  
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''Ziel:''
  
\begin{itemize}
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a) Kennenlernen der Bauteile und Bedienung, sowie Vorbereitung des Aufbaus für das Experiment.
  
\item{\bf Modensprung in einer Argon Entladung}
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b) Verstehen der induktiven Entladungen in Plasmen (Inductively Coupled Plasma)
  
Leistungsscan einer Argon-Entladung und Beobachtung der Hysterese
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'''Einführung in die Massenspektrometrie'''
  
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''Ziel:''
  
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a) Kennenlernen der Bauteile und Bedienung des Massenspektrometers (MS).
  
\item{\bf Bestimmung der Fragmentierungsmuster}
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b) Verstehen des Massenspektrums und den Ein°uss der Einstellungen des MS auf das Spektrum.
  
Kalibrieren des QMS mit einigen Gasen in der Kammer
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c) Messung der Kalibrierspektren
  
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'''Auswertung des Massenspektrums - unbekanntes Gasgemisch'''
  
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''Ziel :''
  
\item{\bf Gasmischungen}
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Auswertung des Massenspektrums eines unbekannten Gasgemisches
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mit Hilfe der Fußgänger-Methode und der Methode der kleinsten Quadrate
  
Bestimmen der Zusammensetzung einer unbekannten Gasmischung aus
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'''Messung des CH4-Plasmas'''
Kohlenwasserstoffen
 
  
 +
''Ziel :''
  
 +
Messung des CH4-Plasmas. Dieses Plasma wird zum Auftragen dÄunner
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diamantähnlicher Kohlewasserstofschichten verwendet.
  
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'''Messung des Ar/O2-Plasmas'''
  
\item{\bf Messung der Plasmazusammensetzung in Abhängigkeit von
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''Ziel:''
der Plasmaleistung}
 
  
Messung des Massenspektrums einer Methanentladung und einer
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Messung des Ar/O2-Plasmas - Plasma wird zum Ätzen von Kohlenstoffschichten benutzt. In diesem Versuch wird das Ar/O2-Plasmas zum
Argon/Sauerstoff-Entladung.
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Reinigen der Plasmakammer verwendet.
 
 
 
 
\item{\bf Ionisations-Schwellen-Spektroskopie}
 
 
 
Schwellenspektroskopie von CH$_3$ in einer Methanentladung
 
(Nachweis von Radikalen).
 
 
 
\end{itemize}
 

Aktuelle Version vom 14. Februar 2013, 17:08 Uhr

Einführung in den experimentellen Aufbau

Ziel:

a) Kennenlernen der Bauteile und Bedienung, sowie Vorbereitung des Aufbaus für das Experiment.

b) Verstehen der induktiven Entladungen in Plasmen (Inductively Coupled Plasma)

Einführung in die Massenspektrometrie

Ziel:

a) Kennenlernen der Bauteile und Bedienung des Massenspektrometers (MS).

b) Verstehen des Massenspektrums und den Ein°uss der Einstellungen des MS auf das Spektrum.

c) Messung der Kalibrierspektren

Auswertung des Massenspektrums - unbekanntes Gasgemisch

Ziel :

Auswertung des Massenspektrums eines unbekannten Gasgemisches mit Hilfe der Fußgänger-Methode und der Methode der kleinsten Quadrate

Messung des CH4-Plasmas

Ziel :

Messung des CH4-Plasmas. Dieses Plasma wird zum Auftragen dÄunner diamantähnlicher Kohlewasserstofschichten verwendet.

Messung des Ar/O2-Plasmas

Ziel:

Messung des Ar/O2-Plasmas - Plasma wird zum Ätzen von Kohlenstoffschichten benutzt. In diesem Versuch wird das Ar/O2-Plasmas zum Reinigen der Plasmakammer verwendet.