PROES

PROES

PROES steht für Phase Resolved Optical Emission Spectroscopy. Grundlage ist die Optische Emissionspektroskopie wie sie schon in den vorherigen Abschnitten beschrieben wurde. Unter Beobachtung von einer ausgewählten Wellenlänge kann das zeitliche Verhalten analysiert werden. Die phasenaufgelöste optische Emissionsspektroskopie (PROES für phase resolved opticial emission spectroscopy) untersucht die grundlegenden Mechanismen in einem Plasma. Die Anregung von Elektronen in Abhängigkeit von der Phase der angelegten Spannung an Elektrode oder Spule kann untersucht werden. Ebenfalls können Elektronengeschwindigkeit und Randschichtausdehnung bestimmt werden.