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Aktuelle Version vom 14. Februar 2013, 16:08 Uhr
Einführung in den experimentellen Aufbau
Ziel:
a) Kennenlernen der Bauteile und Bedienung, sowie Vorbereitung des Aufbaus für das Experiment.
b) Verstehen der induktiven Entladungen in Plasmen (Inductively Coupled Plasma)
Einführung in die Massenspektrometrie
Ziel:
a) Kennenlernen der Bauteile und Bedienung des Massenspektrometers (MS).
b) Verstehen des Massenspektrums und den Ein°uss der Einstellungen des MS auf das Spektrum.
c) Messung der Kalibrierspektren
Auswertung des Massenspektrums - unbekanntes Gasgemisch
Ziel :
Auswertung des Massenspektrums eines unbekannten Gasgemisches mit Hilfe der Fußgänger-Methode und der Methode der kleinsten Quadrate
Messung des CH4-Plasmas
Ziel :
Messung des CH4-Plasmas. Dieses Plasma wird zum Auftragen dÄunner diamantähnlicher Kohlewasserstofschichten verwendet.
Messung des Ar/O2-Plasmas
Ziel:
Messung des Ar/O2-Plasmas - Plasma wird zum Ätzen von Kohlenstoffschichten benutzt. In diesem Versuch wird das Ar/O2-Plasmas zum Reinigen der Plasmakammer verwendet.
