Diamantritzer

Der Diamantritzer dient dazu aus den größeren Wafern, kleine Proben zu erhalten.

Es gibt Probenstandardgrößen im Lehrstuhl für Angewandte Festkörperphysik (beispielhaft: Hall-Proben mit 5 $\times$ 5 mm² und CV-Proben mit 5 $\times$ 3,5 mm²), mit denen man versuchen sollte den Wafer (mit Voraussicht!) bestmöglich auszunutzen.

Für gewöhnlich findet man schon geteilte (aber dennoch große) Waferstücke in der Probenbox vor. Man sollte anhand der Waferstücke und dem eigenen Vorhaben eine bestimmte Probengröße herauszulösen entscheiden, welches Waferstück man nimmt. Es sollte das Waferstück sein, aus dem man seine eigene Probengröße herauslösen kann und es sollte danach noch möglich sein Standardprobengrößen herauslösen zu können.

Hat man sich entschieden kann man das Waferstück mit einer Kunststoffpinzette vorsichtig entnehmen. Hierbei ist zu beachten, dass man nie die Oberfläche mit der Pinzette berührt sondern nur am Rand des Wafers/der Probe (wenn es nicht anders geht und man die Probenoberfläche mit der Pinzette berühren muss, dann nur in Probenrandnähe). Ferner ist dies eine sterile Arbeit, d.h. man soll Einmalhandschuhe benutzen.

Man legt dann das Waferstück unter den Diamantritzer und versucht möglichst viele Ansauglöcher zu überdecken, damit das Waferstück mit Unterdruck fest am Platz gehalten wird. Die nächste Aufgabe ist es, das Waferstück senkrecht auszurichten. Hierzu kann man zunächst die Probe selbst versuchen zu verschieben. Unter dem Mikroskop und mittels zweier Verstellschrauben kann man den Probentisch drehen. Die Ausrichtung ist dann senkrecht, wenn man den Probentisch von sich weg und zu sich hin bewegt und dabei die Längstkante der Probe mit dem Raster des Mikroskopes über die gesamte Strecke hinweg übereinstimmt. Der Probentisch lässt sich übrigens um genau 90° verdrehen.

Da das Waferstück nun senkrecht ausgerichtet ist, kann man sein Probenstück ausmessen. Hierzu gibt es eine Mikrometerschraube mit digitaler Anzeige, so dass man ziemlich präzise seine Probengröße definieren kann. Hat man seine Probengröße ausgemessen kann man den Diamantkopf senken und über das Waferstück fahren. Dann hebt man den Diamantkopf wieder an und wiederholt den Vorgang (absenken -> ritzen -> anheben) mehrere Male. Danach kann man die Pumpe, die den Unterdruck für das Festhalten der Probe bereitstellt, abschalten und das geritzte Waferstück vom Probentisch nehmen.

Direkt neben dem Diamantritzer liegt eine Metallplatte mit einer erhobenen dünnen Linie. Entlang dieser Linie richtet man die gerade auf dem Waferstück geritzte Linie aus. Sie soll die Sollbruchstelle sein. Nun benutzt man zwei Watteplatten, um Druck auf das Waferstück auszuüben, so dass das Waferstück an der Sollbruchstelle bricht.

Ist das Waferstück an der Sollbruchstelle geteilt, so legt man den Rest (den man nicht braucht) zurück in die Probenbox und legt die gerade herausgelöste Probe in eine andere Box/Rundbox.

Datei:FKP W Diamantritzer.png