https://wiki.physik.ruhr-uni-bochum.de/fpsowas/index.php?action=history&feed=atom&title=Bedienung_des_Experiments 2026-04-15T01:18:52Z Versionsgeschichte dieser Seite in F-Praktikum SOWAS Wiki MediaWiki 1.30.0 https://wiki.physik.ruhr-uni-bochum.de/fpsowas/index.php?title=Bedienung_des_Experiments&diff=930&oldid=prev 2013-02-14T15:05:34Z

<p></p> <table class="diff diff-contentalign-left" data-mw="interface"> <col class="diff-marker" /> <col class="diff-content" /> <col class="diff-marker" /> <col class="diff-content" /> <tr style="vertical-align: top;" lang="de"> <td colspan="2" style="background-color: white; color:black; text-align: center;">← Nächstältere Version</td> <td colspan="2" style="background-color: white; color:black; text-align: center;">Version vom 14. Februar 2013, 15:05 Uhr</td> </tr><tr><td colspan="2" class="diff-lineno" id="mw-diff-left-l1" >Zeile 1:</td> <td colspan="2" class="diff-lineno">Zeile 1:</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>Versuchsaufbau</div></td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins class="diffchange diffchange-inline">'''</ins>Versuchsaufbau<ins class="diffchange diffchange-inline">'''</ins></div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"></td><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>Der Versuch wird an einem ICP-Reaktor (s. Abb.) durchgeführt, an dem auch aktuelle Forschungsarbeiten stattfinden.</div></td><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>Der Versuch wird an einem ICP-Reaktor (s. Abb.) durchgeführt, an dem auch aktuelle Forschungsarbeiten stattfinden.</div></td></tr> </table>

Benedikt https://wiki.physik.ruhr-uni-bochum.de/fpsowas/index.php?title=Bedienung_des_Experiments&diff=929&oldid=prev 2013-02-14T15:05:19Z

<p></p> <table class="diff diff-contentalign-left" data-mw="interface"> <col class="diff-marker" /> <col class="diff-content" /> <col class="diff-marker" /> <col class="diff-content" /> <tr style="vertical-align: top;" lang="de"> <td colspan="2" style="background-color: white; color:black; text-align: center;">← Nächstältere Version</td> <td colspan="2" style="background-color: white; color:black; text-align: center;">Version vom 14. Februar 2013, 15:05 Uhr</td> </tr><tr><td colspan="2" class="diff-lineno" id="mw-diff-left-l8" >Zeile 8:</td> <td colspan="2" class="diff-lineno">Zeile 8:</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>Massenspektrometers werden über zwei Programme vom PC aus gesteuert. PZusätzlich wird plasmaemission mit Hilfe von einem kleinen Spektrografen durch ein Quartzfenster gemessen. &#160;</div></td><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>Massenspektrometers werden über zwei Programme vom PC aus gesteuert. PZusätzlich wird plasmaemission mit Hilfe von einem kleinen Spektrografen durch ein Quartzfenster gemessen. &#160;</div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"></td><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>[[Datei:<del class="diffchange diffchange-inline">Beispiel</del>.jpg]]</div></td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>[[Datei:<ins class="diffchange diffchange-inline">Versuchsaufbau</ins>.jpg]]</div></td></tr> </table>

Benedikt https://wiki.physik.ruhr-uni-bochum.de/fpsowas/index.php?title=Bedienung_des_Experiments&diff=928&oldid=prev 2013-02-14T15:04:52Z

<p></p> <table class="diff diff-contentalign-left" data-mw="interface"> <col class="diff-marker" /> <col class="diff-content" /> <col class="diff-marker" /> <col class="diff-content" /> <tr style="vertical-align: top;" lang="de"> <td colspan="2" style="background-color: white; color:black; text-align: center;">← Nächstältere Version</td> <td colspan="2" style="background-color: white; color:black; text-align: center;">Version vom 14. Februar 2013, 15:04 Uhr</td> </tr><tr><td colspan="2" class="diff-lineno" id="mw-diff-left-l1" >Zeile 1:</td> <td colspan="2" class="diff-lineno">Zeile 1:</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">\chapter{</del>Versuchsaufbau<del class="diffchange diffchange-inline">}</del></div></td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>Versuchsaufbau</div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"></td><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">\section{</del>ICP-<del class="diffchange diffchange-inline">Aufbau}</del></div></td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins class="diffchange diffchange-inline">Der Versuch wird an einem </ins>ICP-<ins class="diffchange diffchange-inline">Reaktor (s. Abb.) durchgeführt, an dem auch aktuelle Forschungsarbeiten stattfinden.</ins></div></td></tr> <tr><td colspan="2">&#160;</td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins class="diffchange diffchange-inline">Das Plasma wird in einem Niederdruck-Edelstahlkammer erzeugt. Eine Vorvakuumspumpe, Turbomolekularpumpe und ein Butterfly-Ventil</ins></div></td></tr> <tr><td colspan="2">&#160;</td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins class="diffchange diffchange-inline">erhalten das Vakuum aufrecht. Unter der Kammer, hinter einem Quartzglass, befindet sich eine planare Spule. Sie wird mit einem</ins></div></td></tr> <tr><td colspan="2">&#160;</td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins class="diffchange diffchange-inline">HF-Generator gespeist. Zwischen Generator und Antenne ist ein Matchingnetzwerk installiert, mit dem die HF-Leistung optimal</ins></div></td></tr> <tr><td colspan="2">&#160;</td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins class="diffchange diffchange-inline">(reflektionsfrei) in das Plasma eingekoppelt wird. Gasströme in die Kammer werden durch Massflow-Controller geregelt. Die Druckstufe des Massenspektrometers befindet sich seitlich vom Plasmavolumen. Die gemessene GAsmischung wird durch eine Extraktionsöffnung an der MS-Druckstufe zum Massenspektrometer geleitet. Alle relevanten Funktionen des Reaktors und des</ins></div></td></tr> <tr><td colspan="2">&#160;</td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins class="diffchange diffchange-inline">Massenspektrometers werden über zwei Programme vom PC aus gesteuert. PZusätzlich wird plasmaemission mit Hilfe von einem kleinen Spektrografen durch ein Quartzfenster gemessen. </ins></div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"></td><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">Der Versuch wird an einem ICP-Reaktor (s. Abb. \ref{fig</del>:<del class="diffchange diffchange-inline">icpms1})</del></div></td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins class="diffchange diffchange-inline">[[Datei</ins>:<ins class="diffchange diffchange-inline">Beispiel</ins>.<ins class="diffchange diffchange-inline">jpg]]</ins></div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">durchgeführt, an dem auch aktuelle Forschungsarbeiten stattfinden.</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">Das Plasma wird in einem Niederdruck-Edelstahlkammer erzeugt. Eine</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">Vorvakuumspumpe, Turbomolekularpumpe und ein Butterfly-Ventil</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">erhalten das Vakuum aufrecht. Ein Probenhalter im Reaktor kann zur</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">Plasmabehandlung von Wafern oder anderen Objekten benutzt werden.</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">In der Kammer befindet sich die planare Spule, isoliert vom</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">Plasmavolumen unter einem Quarzhut. Sie wird mit einem</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">HF-Generator gespeist. Zwischen Generator und Antenne ist ein</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">Matchingnetzwerk installiert, mit dem die HF-Leistung optimal</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">(reflektionsfrei) in das Plasma eingekoppelt wird. Gasströme in</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">die Kammer werden durch Massflow-Controller geregelt. Die zwei</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">Druckstufen des Massenspektrometers befinden sich seitlich vom</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">Plasmavolumen. Der Teilchenstrahl wird durch eine</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">Extraktionsöffnung an der MS-Druckstufe zum Massenspektrometer</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">geleitet. Alle relevanten Funktionen des Reaktors und des</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">Massenspektrometers werden über zwei Programme vom PC aus</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">gesteuert</del>.</div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> </table>

Benedikt https://wiki.physik.ruhr-uni-bochum.de/fpsowas/index.php?title=Bedienung_des_Experiments&diff=48&oldid=prev 2009-05-29T08:12:20Z

<p>Die Seite wurde neu angelegt: „\chapter{Versuchsaufbau} \section{ICP-Aufbau} Der Versuch wird an einem ICP-Reaktor (s. Abb. \ref{fig:icpms1}) durchgeführt, an dem auch aktuelle Forschungsarb...“</p> <p><b>Neue Seite</b></p><div>\chapter{Versuchsaufbau}<br /> <br /> \section{ICP-Aufbau}<br /> <br /> Der Versuch wird an einem ICP-Reaktor (s. Abb. \ref{fig:icpms1})<br /> durchgeführt, an dem auch aktuelle Forschungsarbeiten stattfinden.<br /> Das Plasma wird in einem Niederdruck-Edelstahlkammer erzeugt. Eine<br /> Vorvakuumspumpe, Turbomolekularpumpe und ein Butterfly-Ventil<br /> erhalten das Vakuum aufrecht. Ein Probenhalter im Reaktor kann zur<br /> Plasmabehandlung von Wafern oder anderen Objekten benutzt werden.<br /> In der Kammer befindet sich die planare Spule, isoliert vom<br /> Plasmavolumen unter einem Quarzhut. Sie wird mit einem<br /> HF-Generator gespeist. Zwischen Generator und Antenne ist ein<br /> Matchingnetzwerk installiert, mit dem die HF-Leistung optimal<br /> (reflektionsfrei) in das Plasma eingekoppelt wird. Gasströme in<br /> die Kammer werden durch Massflow-Controller geregelt. Die zwei<br /> Druckstufen des Massenspektrometers befinden sich seitlich vom<br /> Plasmavolumen. Der Teilchenstrahl wird durch eine<br /> Extraktionsöffnung an der MS-Druckstufe zum Massenspektrometer<br /> geleitet. Alle relevanten Funktionen des Reaktors und des<br /> Massenspektrometers werden über zwei Programme vom PC aus<br /> gesteuert.</div>

VonKeudell