Aufgaben - Versionsgeschichte

Benedikt am 14. Februar 2013 um 15:08 Uhr

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Benedikt am 14. Februar 2013 um 12:15 Uhr

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Die Seite wurde neu angelegt: „\chapter{Aufgaben} \begin{itemize} \item{\bf Modensprung in einer Argon Entladung} Leistungsscan einer Argon-Entladung und Beobachtung der Hysterese \item{...“

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\chapter{Aufgaben}

\begin{itemize}

\item{\bf Modensprung in einer Argon Entladung}

Leistungsscan einer Argon-Entladung und Beobachtung der Hysterese

\item{\bf Bestimmung der Fragmentierungsmuster}

Kalibrieren des QMS mit einigen Gasen in der Kammer

\item{\bf Gasmischungen}

Bestimmen der Zusammensetzung einer unbekannten Gasmischung aus
Kohlenwasserstoffen

\item{\bf Messung der Plasmazusammensetzung in Abhängigkeit von
der Plasmaleistung}

Messung des Massenspektrums einer Methanentladung und einer
Argon/Sauerstoff-Entladung.

\item{\bf Ionisations-Schwellen-Spektroskopie}

Schwellenspektroskopie von CH$_3$ in einer Methanentladung
(Nachweis von Radikalen).

\end{itemize}

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	b) Verstehen der induktiven Entladungen in Plasmen (Inductively Coupled Plasma)		b) Verstehen der induktiven Entladungen in Plasmen (Inductively Coupled Plasma)
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−	~~''Aufgabe 1:''~~
−
−	~~Stellen Sie das Ar ICP bei einem Gasdurchsatz von 5 sccm, Druck 5 Pa und rf-Leistung von 100 W her. Üben Sie sich in der~~
−	Abstimmung der Leistung auf das Plasma. Bei sehr niedrigen Leistungen ist die Plasmadichte zu gering für induktive Entladungen, daher wird die Energie durch eine kapazitive Entladung an das Plasma abgegeben. Das Plasma heißt dann Capacitively Coupled Plasma (CCP). Die Plasmadichte ist im CCP-Zustand viel geringer und daher auch die Lichtemission des Plasmas.
−	~~Durch Messung der Plasmaemission mit Hilfe von einem kleinen Emissionsspektrometer soll die Leistung gefunden werden, bei der der Übergang vom CCP nach ICP erfolgt.~~
−
−	~~''Fürs Protokoll:''~~
−	~~Beschreiben Sie mit eigenen Worten was man als Niedertemperatur- und Niederdruck-Plasmen bezeichnet. Stellen Sie kurz den Aufbau des Versuches dar. Erklären Sie die Funktion der Matchbox und den~~
−	~~Übergang vom ICP zum CCP (bei welcher Leistung erfolgt er unter unseren Bedingungen?).~~

	'''Einführung in die Massenspektrometrie'''		'''Einführung in die Massenspektrometrie'''

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 Auswertung des Massenspektrums eines unbekannten Gasgemisches
-mit Hilfe der Fu¼gÄanger-MethodeÄund der Methode der kleinsten Qua-
+mit Hilfe der Fußgänger-Methode und der Methode der kleinsten Quadrate
-drate

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	c) Messung der Kalibrierspektren		c) Messung der Kalibrierspektren
		+
		+	'''Auswertung des Massenspektrums - unbekanntes Gasgemisch'''
		+
		+	''Ziel :''
		+
		+	Auswertung des Massenspektrums eines unbekannten Gasgemisches
		+	mit Hilfe der Fu¼gÄanger-MethodeÄund der Methode der kleinsten Qua-
		+	drate

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	Beschreiben Sie mit eigenen Worten was man als Niedertemperatur- und Niederdruck-Plasmen bezeichnet. Stellen Sie kurz den Aufbau des Versuches dar. Erklären Sie die Funktion der Matchbox und den		Beschreiben Sie mit eigenen Worten was man als Niedertemperatur- und Niederdruck-Plasmen bezeichnet. Stellen Sie kurz den Aufbau des Versuches dar. Erklären Sie die Funktion der Matchbox und den
	Übergang vom ICP zum CCP (bei welcher Leistung erfolgt er unter unseren Bedingungen?).		Übergang vom ICP zum CCP (bei welcher Leistung erfolgt er unter unseren Bedingungen?).
		+
		+	'''Einführung in die Massenspektrometrie'''
		+
		+	''Ziel:''
		+
		+	a) Kennenlernen der Bauteile und Bedienung des Massenspektrometers (MS).
		+
		+	b) Verstehen des Massenspektrums und den Ein°uss der Einstellungen des MS auf das Spektrum.
		+
		+	c) Messung der Kalibrierspektren

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	a) Kennenlernen der Bauteile und Bedienung, sowie Vorbereitung des Aufbaus für das Experiment.		a) Kennenlernen der Bauteile und Bedienung, sowie Vorbereitung des Aufbaus für das Experiment.
		+
	b) Verstehen der induktiven Entladungen in Plasmen (Inductively Coupled Plasma)		b) Verstehen der induktiven Entladungen in Plasmen (Inductively Coupled Plasma)

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 '''Einführung in den experimentellen Aufbau'''
 ''Ziel:''
 a) Kennenlernen der Bauteile und Bedienung, sowie Vorbereitung des Aufbaus für das Experiment.
 b) Verstehen der induktiven Entladungen in Plasmen (Inductively Coupled Plasma)
 Aufgabe 1: Stellen Sie das Ar ICP bei einem Gasdurchsatz von 5 sccm, Druck 5 Pa und rf-Leistung von 100 W her. Üben Sie sich in der
 Abstimmung der Leistung auf das Plasma. Bei sehr niedrigen Leistungen ist die Plasmadichte zu gering für induktive Entladungen, daher wird die Energie durch eine kapazitive Entladung an das Plasma abgegeben. Das Plasma heißt dann Capacitively Coupled Plasma (CCP). Die Plasmadichte ist im CCP-Zustand viel geringer und daher auch die Lichtemission des Plasmas.
 Durch Messung der Plasmaemission mit Hilfe von einem kleinen Emissionsspektrometer soll die Leistung gefunden werden, bei der der Übergang vom CCP nach ICP erfolgt.
 ''Fürs Protokoll:''
 Beschreiben Sie mit eigenen Worten was man als Niedertemperatur- und Niederdruck-Plasmen bezeichnet. Stellen Sie kurz den Aufbau des Versuches dar. Erklären Sie die Funktion der Matchbox und den
 Übergang vom ICP zum CCP (bei welcher Leistung erfolgt er unter unseren Bedingungen?).